極限真空試験
客観的：真空ポンプが長時間動作した後の無負荷状態 (プロセスシステムから切り離された状態) で達成できる最低圧力を測定します。これはポンプのポンプ能力の中心的な指標です。
方法：ポンプの入口を密閉し、ポンプを始動し、連続的に (たとえば 2 時間) 運転させます。高精度の真空計を使用して、出口で到達できる安定した最低圧力を監視および記録します。
典型的なデータ:到達真空度は真空ポンプの種類によって大きく異なります。たとえば、2 段ロータリーベーン真空ポンプは 10-1 Pa レベルに達する可能性がありますが、スクリュー真空ポンプの理想的な到達真空範囲は通常 1×10-2 Pa と 1×10-3 Pa の間です。
排気速度試験
客観的：ポンプの動作効率を反映して、特定の圧力で単位時間当たりにポンプの入口に引き込まれるガスの量を測定します。
方法：容積が既知の標準的な真空チャンバーを接続します。大気圧から特定の目標圧力 (たとえば、5×10-2 mbar) までポンプダウンするのに必要な時間を測定し、平均ポンプ速度を計算します。
典型的なデータ:ポンプ速度は通常、L/s または m3/h で表されます。たとえば、ポンプ モデルの定格排気速度が 50 m3/h の場合、テスト要件では、大気圧から目標圧力まで排気する時間が 15 分を超えてはならず、排気速度の偏差が ±5% 以内であることが指定される場合があります。
リーク率試験
客観的：ポンプ本体とその接続部のシール性能を検査し、明らかな漏れがないことを確認して到達真空度の安定性を保証します。
方法：通常、ポンプ全体 (シャフト端、エンドキャップ、フランジなどのシール領域) を検査するために、高感度ヘリウム質量分析計の漏れ検出器が使用されます。
典型的なデータ:高性能真空ポンプの場合、全体的なリーク率の要件は非常に厳しくなります。たとえば、5×10⁻⁸ Pa・m3/s 未満でなければなりません。
安定性試験
客観的：連続運転中または模擬動作条件下で特定の真空レベルを維持する真空ポンプの能力を評価します。
方法：ポンプを特定の圧力で長時間（4 時間または 168 時間など）連続運転し、真空度の変動範囲を監視します。
典型的なデータ:真空レベルの変動は最小限でなければなりません。たとえば、5×10-2 mbarの圧力で4時間連続運転する場合、真空レベルの変動は±1×10-3 mbarを超えてはなりません。